Научные области » Эпитаксия

Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций
Бахрушин В.Е., Бахрушин В.Е. Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций. - Запорожье: ГУ "ЗИГМУ", 2001.- 247 с..
Многослойные композиции   кремний   германий   МОНОКРИСТАЛЛ   эпитаксия   дислокации   ступеньки сдвига   термическая обработка