Владимир Бахрушин » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2004-08-27 Опубликовано на SciPeople2011-08-27 09:18:15 ЖурналСложные системы и процессы

Утворення та властивості дислокацій у кремнієвих автоепітаксійних композиціях

Бахрушин В.Е., Ткаченко Р.А. / Владимир Бахрушин

Сложные системы и процессы. – 2004. - № 1-2 (5-6). – С. 31 - 52

Аннотация Рассмотрены основные типы дислокаций и дислокационных дефектов в кремниевых автоэпитаксиальных композициях, механизмы их возникновения и влияние на физические свойства материала. Особое внимание уделено взаимодействию дислокаций с примесными атомами и образованию на них примесных атмосфер. Рассмотрены аномалии процесса формирования атмосфер в высокочистых кристаллах.