Владимир Бахрушин » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-12-27 Опубликовано на SciPeople2011-08-27 09:37:50 ЖурналСложные системы и процессы

Особливості утворення ліній ковзання при осадженні слабколегованих автоепітаксійних шарів кремнію

Бахрушин В.Е., Ткаченко Р.А. / Владимир Бахрушин

Сложные системы и процессы. - 2005. - № 2. - С. 43 - 48.

Аннотация Определены кристаллографические условия, характеризующие возможность визуального (по наличию макроскопической ступеньки на поверхности) и металлографического (по образованию цепочки ямок травления) выявления линий скольжения в кремниевых эпитаксиальных композициях. Показано, что во время осаждения эпитаксиального слоя может происходить аннигиляция дислокаций и их частичное упорядочение в полосе скольжения.