Владимир Бахрушин » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2008-06-27 Опубликовано на SciPeople2011-08-27 10:02:05 ЖурналСложные системы и процессы

Статистичний аналіз неоднорідності товщини епітаксійних шарів кремнієвих композицій

Бахрушин В.Е., Игнахина М.А. / Владимир Бахрушин

Сложные системы и процессы. – 2008. - № 1. – С. 3 – 8.

Аннотация Построены и исследованы эмпирические функции распределения для показателей неоднородности толщины эпитаксиальных слоев в группе кремниевых композиций. Для изученных показателей они могут быть представлены в виде суммы двух нормально распределенных величин или как однородная нормально распределенная выборка.