Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2012-01-08 Опубликовано на SciPeople2012-08-21 10:37:04 ЖурналСхідно-Європейський журнал передових технологій

Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния

Юрий Васильевич Реков, Иван Федорович Червоный, Сергей Геннадиевич Егоров, Олег Алексеевич Кисарин, Роман Николаевич Воляр / Алина Селезнева ^{контактное лицо}

Юрий Васильевич Реков, Иван Федорович Червоный, Сергей Геннадиевич Егоров, Олег Алексеевич Кисарин, Роман Николаевич Воляр Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния // Східно-Європейський журнал передових технологій, Vol. 3, Issue 5, 2012, pp. 15-20

Аннотация Розглянуто вплив умов вирощування кременевих основ на утворення на їх поверхні эпитаксиального шару. Виключення освіти на поверхні кременевих основ епитаксиального шару пропонується шляхом проведення процесу плавки в газовому середовищі при тиску вище атмосферного