Анатолий Заворотний » Публикация

Аннотация На основе определенной математической модели рассмотрен способ измерения и контроля свойств контактов металл – полупроводник. Предложенная математическая модель не требует создания специальной тестовой структуры и может быть использована для определения концентрации и подвижности носителей заряда по результатам измерений удельного сопротивления и коэффициента Холла, а также для оценки однородности пластин и пленок по удельному сопротивлению. Расчетные формулы получены без приближений путем решения краевых задач, адекватных физическим условиям. Проанализированы условия, при которых сопротивление растекания двух контактов складывается из сопротивлений растекания каждого контакта в отдельности.