Леонид Синев » Публикация

Аннотация Рассмотрены механические напряжения, возникающие в деталях изделий микросистемной техники из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом (анодной посадкой), которые возникают из-за разницы их коэффициентов теплового линейного расширения. Представлена аналитическая модель, позволяющая оценить характер изменения коэффициентных напряжений и графически определить температуру проведения соединения, при которой минимизируются напряжения в кремнии и стекле в зоне рабочей температуры прибора. Даны рекомендации по выбору температуры проведения анодной посадки.