Леонид Синев » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2011-05-01 Опубликовано на SciPeople2015-02-02 21:47:37 ЖурналНано- и микросистемная техника

Согласование коэффициентов термического расширения при электростатическом соединении кремния со стеклом

Синев Л. С., Рябов В. Т. / Леонид Синев

Синев Л. С., Рябов В. Т. Согласование коэффициентов термического расширения при электростатическом соединении кремния со стеклом // Нано- и микросистемная техника. 2011. № 5. С. 24—27.

Аннотация Рассмотрены напряжения, возникающие в деталях из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом из-за разницы их коэффициентов теплового линейного расширения. Представлена аналитическая модель, позволяющая графически определить оптимальную температуру проведения соединения. Даны рекомендации по выбору температуры проведения процесса соединения.