Лидия Кашуро » Публикация

Инженерные науки
— Химическая технология

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2019-05-31 На SciPeople2020-02-15 ЖурналПЕРЕДОВЫЕ ИННОВАЦИОННЫЕ РАЗРАБОТКИ. ПЕРСПЕКТИВЫ И ОПЫТ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ, ПРОБЛЕМЫ ВНЕДРЕНИЯ В ПРОИЗВОДСТВО

Автоматизация процесса контроля качества отмывки полупроводниковых пластин

Кашуро Л. А., / Лидия Кашуро

Аннотация

В статье приводится обзор методов контроля очистки полупроводниковых пластин, приводится описание установки контроля на основе метода люминесцентного анализа, на основе полученных результатов определены входной и выходной параметры автоматизированного процесса. The article provides an overview of control methods for cleaning semiconductor wafers, describes the control unit based on the method of fluorescent analysis, on the basis of the results determined the input and output parameters of the automated process.