Профиль » Публикация
Опубликовано
2006-03-23
Организация(1) РНЦ Курчатовский Институт (2) МФТИ(ГУ), (3) ГНЦ РФ Троицкий Институт Инновационных и Термоядерных Исследований
ЖурналЭлектронный журнал "Исследовано в России"
Термодинамический анализ химического состава плазменно-пылевых образований при ионно-химическом травлении
Белов И.А., Иванов А.С., Леонов А.Г., Паль А.Ф., Старостин А.Н. Термодинамический анализ химического состава плазменно-пылевых образований при ионно-химическом травлении
// Электронный журнал "Исследовано в России", 9, 315-325, 2006. http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2006/033.pdf
Аннотация
В работе с помощью программы АСТРА на основе базы данных ИВТАНТЕРМО исследовано влияние добавок SF6, CF4/H2 на химический и фазовый состав продуктов плазменного (ионно-химического) травления Si, SiC и SiO2. Проводится сравнительный анализ результатов расчётных исследований с известными экспериментальными данными
http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2006/033.pdf
Показать статистику Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален
