Профиль » Публикация

Аннотация Слои карбонитрида кремния синтезированы методом химического газофазного осаждения в схеме удаленной плазмы. В качестве исходного вещества использовался синтезированный нами диметил(2,2-диметилгидразино)силан (CH3)2HSiNHN(CH3)2 силильное производное 1,1-диметилгидразина (гептила). Пленки охарактеризованы методами рентгенфотоэлектронной (РФЭС) и абсорбционной оптической (ИК и УФ- видимой) спектроскопии. Микроструктура пленок исследована методами сканирующей электронной микроскопии и дифракции синхротронного излучения. РФЭС и ИК исследования показали, что в осажденных пленках превалируют Si-C и Si-N связи. Относительно C-N cвязей результаты менее очевидны. Эти связи либо отсутствуют в пленках, либо находятся в незначительном количестве. Было показано, что пленки являются преимущественно аморфными с включениями кристаллитов в аморфную матрицу. Возникновение кристаллов, их размеры и фазовые состояния не зависят от температуры подложки, поэтому предполагается, что кристаллизация происходит либо в газовой фазе во время осаждения, либо за счет напряжений, возникающих в аморфной пленке при увеличении ее толщины. Кристаллические образования имеют структуру, наиболее близкую к фазе Si3N4. В аморфной же матрице, согласно ИК- и РФЭС-данным, химические связи и ближний порядок более сложный, чем в смеси Si3N4-SiС. Мы считаем, что в структуре пленки реализуется тетрагональная конфигурация, в которой кремний имеет связи как с азотом, так и с углеродом. Пленки являются термически стабильными. Показано, что синтезированные пленки имеют ширину запрещенной зоны от 2,0 до 4,7 эВ в зависимости от условий синтеза.