Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 Организация1&nbsp;Институт радиотехники и электроники РАН, 103907 Москва, Россия 2&nbsp;Московский физико-технический институт, 141700 г.&nbsp;Долгопрудный, Московская область, Россия 3&nbsp;Исследовательский центр электронных материалов, Бриндизи, И ЖурналЖурнал Технической Физики

Термокондуктометрическое детектирование газов и газовых потоков с помощью линий задержки на поверхностных акустических волнах

Анисимкин В.И., Максимов С.А., Пенза М., Васанелли Л.

Анисимкин В.И., Максимов С.А., Пенза М., Васанелли Л. Термокондуктометрическое детектирование газов и газовых потоков с помощью линий задержки на поверхностных акустических волнах // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 5, Стр. 119

Аннотация Линии задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ), не содержащие газочувствительных покрытий, применены в качестве термодатчиков для термокондуктометрической регистрации газов и газовых потоков. В линейном приближении проанализирована вынужденная конвекция 13 газов в пренебрежении их взаимодействием с окружающей средой. Детектирование H2, He, Ar, CH4, NH3, N2, O2 проведено с использованием линий задержки на кварце, LiNbO3, Bi12GeO20, Bi12SiO20 на частотах f=21-263 МГц, при температурах T=25-165oC. Измерены зависимости ПАВ "отклика" от концентрации газов n, скорости потока U, температурного коэффициента скорости ПАВ (ТКС) и рабочей температуры Tp. Продемонстрирована возможность управления величиной газового "отклика" и обеспечения селективности выбором ТКС и Tp. Пороговые концентрации газов составили 0.35 % для CH4 и 0.1 % для H2 и NH3 в азоте. Получена линейность "отклика" в диапазоне U=20-200 мл/мин.