Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут электроники АН Белоруссии, 220841 Минск, Белоруссия ЖурналЖурнал Технической Физики

Влияние термической обработки и лазерного воздействия на&nbsp;композицию ванадий--кремний

Чапланов А.М., Шибко А.Н.

Чапланов А.М., Шибко А.Н. Влияние термической обработки и лазерного воздействия на композицию ванадий--кремний // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 6, Стр. 96

Аннотация Исследовано влияние слабого лазерного воздействия при термической обработке на композицию ванадий--кремний. Определено, что изменение фазового состава контакта обусловливает изменение его электрофизических параметров. Применение комбинированной обработки позволяет формировать выпрямляющий контакт ванадий--кремний с определенными, заранее заданными электрофизическими параметрами.