Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияНаучно-исследовательское предприятие гиперзвуковых систем, 196066 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Перенос атомов и&nbsp;изменение состава поверхности в&nbsp;процессе имплантации ионов в&nbsp;многокомпонентные материалы

Кучинский В.В.

Кучинский В.В. Перенос атомов и изменение состава поверхности в процессе имплантации ионов в многокомпонентные материалы // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 10, Стр. 95

Аннотация Получена нестационарная система уравнений, описывающая динамику распределений концентраций компонентов многокомпонентного материала с учетом имплантации, распыления, внешего напыления и диффузии, сформулированы граничные условия и даны приближенные решения, позволяющие проанализировать влияние различных факторов на формирование концентрации в приповерхностных слоях.