Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:
Опубликовать в блог:
Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут проблем машиностроения РАН, 199178 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики


Формирование и эволюция фазового состава и связанных с ним свойств в процессе роста тонких пленок
Кукушкин С.А., Осипов А.В.
Кукушкин С.А., Осипов А.В. Формирование и эволюция фазового состава и связанных с ним свойств в процессе роста тонких пленок // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 10, Стр. 112
Аннотация Выведена полная система уравнений, описывающих эволюцию фазового состава островков, находящихся на стадии оствальдовского созревания в процессе роста тонких пленок, и найдено ее решение. Получена функция распределения островков твердых растворов при различных механизмах роста. Выработан общий подход к управлению фазовым составом и связанными с ним свойствами (электрическими, оптическими, прочностными и т. п.) в формирующихся многокомпонентных системах. Исследование ведется на примере роста тонких многокомпонентных пленок. Показано, что наибольшие возможности управления этими свойствами открываются на стадии оствальдовского созревания, а также при нелинейных явлениях, таких как автоколебания или самоорганизация. Выявлена связь между размером и составом зародышей новой фазы, образующихся в процессе конденсации пленок твердых растворов. Получена и решена система уравнений, описывающая эволюцию функции распределения свойств в островковых пленках твердых растворов при изменении внешних параметров системы. Показано, что существенная зависимость состава от внешних параметров проявляется при размерах островков с радиусом R=< 10-8 m независимо от типа вещества. Для островковых пленок стехиометрических соединений построена диаграмма сосуществования соответствующих свойств в координатах концентрация--температура, что позволяет определить условия, необходимые для их получения. Предсказано возможное периодическое изменение во времени и пространстве различных свойств в многокомпонентных системах, претерпевающих фазовый переход первого рода.
Ключевые слова публикации:
   

Комментарии

Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален