Профиль » Публикация
Опубликовано
1997-00-00
ОрганизацияИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 142432 Черноголовка, Московская область, Россия
ЖурналЖурнал Технической Физики
Механизм ионизации в жидкометаллическом ионном источнике. Источник для тугоплавких металлов
Сихарулидзе Г.Г. Механизм ионизации в жидкометаллическом ионном источнике. Источник для тугоплавких металлов // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 11, Стр. 82
Аннотация
Проведены исследования механизма ионизации в жидкометаллическом ионном источнике (ЖМИИ). На поверхности жидкометаллического эмиттера, замороженного в поле высокого напряжения в момент генерации ионного тока, обнаружены микроострия, вытянутые из жидкого металла электрическим полем. В ионном пучке, вытягиваемом из отверстия в экстракторе, с помощью масс-спектрометра с двойной фокусировкой выделены две составляющие. Одна часть ионов образуется у вершины эмиттера и имеет энергетический разброс, не превышающий несколько десятков электрон-вольт. Другая часть ионов образуется в катодной плазме на экстракторе. На основе проведенных исследований предлагается механизм ионообразования в ЖМИИ. На базе предложенного механизма изменена конструкция ЖМИИ. Источник позволяет получать ионные пучки из тугоплавких металлов и неметаллов. Получены пучки ионов Ta, W, Mo, C, Fe.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален