Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1998-00-00 Организация1Институт радиотехники и электроники РАН, 103907 Москва, Россия 2Институт акустики им О.М.&nbsp;Кобрино, СНИ, Рим, Италия ЖурналЖурнал Технической Физики

Анализ газов и&nbsp;индуцируемых ими поверхностных процессов с&nbsp;помощью поверхностных акустических волн

Анисимкин В.И., Котелянский И.М., Верона Э.

Анисимкин В.И., Котелянский И.М., Верона Э. Анализ газов и индуцируемых ими поверхностных процессов с помощью поверхностных акустических волн // ЖТФ, 1998, том 68, выпуск 2, Стр. 73

Аннотация Получено аналитическое выражение для величины газового "отклика" поверхностной акустической волны (ПАВ). Проведена его экспериментальная проверка. Теоретически предсказаны и экспериментально подтверждены основные особенности детектирования газов с помощью ПАВ. Проведено сравнение ПАВ датчиков газов с газочувствительными покрытиями и без них. Предложена методика определения с помощью ПАВ относительных изменений плотности Deltarho/rho и упругих модулей Delta C11/C11, Delta C44/C44 пленок при адсорбции (десорбции) газов. Показана возможность использования этой методики для анализа процессов адсорбции и десорбции. Проведено сравнение адсорбционных свойств поликристаллических, термически осажденных пленок палладия до и после их низкотемпературного отжига в вакууме, а также неотожженных пленок Pd и Pd : Ni. Обсуждены перспективы использования ПАВ для детектирования газов и изучения индуцируемых ими поверхностных процессов.