Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1998-00-00 ОрганизацияИнститут проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН, 142432 Черноголовка, Московская область, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Магнетронное напыление при повышенных давлениях: процессы в&nbsp;газовой среде

Знаменский А.Г., Марченко В.А.

Знаменский А.Г., Марченко В.А. Магнетронное напыление при повышенных давлениях: процессы в газовой среде // ЖТФ, 1998, том 68, выпуск 7, Стр. 24

Аннотация Термализация эмиттированных мишенью энергичных атомов при давлениях до 100 Pa приводит к нагреву и движению газовой среды. В зависимости от параметров магнетронного разряда измерены температура и скорость движения газа. Представлены зависимости скорости осаждения, профиля толщины и структуры пленок от давления и мощности разряда. Показано, что они хорошо описываются простой диффузионной моделью транспорта термализованных атомов мишени, учитывающей движение и нагрев газовой среды.