Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1999-00-00 Организация1 Отдел теплофизики АН Республики Узбекистан, 700135 Ташкент, Узбекистан 2 Институт электроники АН Республики Узбекистан, 700143 Ташкент, Узбекистан ЖурналЖурнал Технической Физики

Распыление металла в&nbsp;виде больших кластеров при&nbsp;ионной бомбардировке

Матвеев В.И., Белых С.Ф., Веревкин И.В.

Матвеев В.И., Белых С.Ф., Веревкин И.В. Распыление металла в виде больших кластеров при ионной бомбардировке // ЖТФ, 1999, том 69, выпуск 3, Стр. 64

Аннотация Предложена модель распыления металла в виде больших кластеров с числом атомов N<= 5 при ионной бомбардировке, основанная на простых физических предположениях и находящихся в согласии с экспериментом. В качестве примера рассчитан относительный выход кластеров в зависимости от числа атомов в составе кластера в результате бомбардировки различных металлов однозарядными ионами аргона при энергии 5 keV. Проведено сравнение с экспериментальными данными.