Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1999-00-00 ОрганизацияИнститут электроники АН Белоруссии, 220841 Минск, Белоруссия ЖурналЖурнал Технической Физики

Фазовые превращения в&nbsp;системе титан--кремний при&nbsp;лазерной обработке в&nbsp;алканах

Чапланов А.М., Шибко А.Н.

Чапланов А.М., Шибко А.Н. Фазовые превращения в системе титан--кремний при лазерной обработке в алканах // ЖТФ, 1999, том 69, выпуск 6, Стр. 63

Аннотация Исследованы фазовые превращения, происходящие в композации титан--кремний при лазерной обработке с lambda=1.06 mum в пентане и гексане. Показана зависимость образования карбида, оксидов и силицидов титана от параметров и условий обработки. Фазовые изменение исследовались по всей толщине пленки, изучалось их влияние на электрофизические параметры контакта титан--кремний.