Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияИнститут микроэлектроники РАН, 150007 Ярославль, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Амплитуда и&nbsp;форма резонансов Фабри--Перо в&nbsp;лазерной интерференционной термометрии полупроводников и&nbsp;диэлектриков

Магунов А.Н., Меркулов С.В.

Магунов А.Н., Меркулов С.В. Амплитуда и форма резонансов Фабри--Перо в лазерной интерференционной термометрии полупроводников и диэлектриков // ЖТФ, 2000, том 70, выпуск 2, Стр. 58

Аннотация Определены возможности наиболее чувствительного метода лазерной термометрии прозрачных и полупрозрачных пластин при изменении условий зондирования и оптических свойств поверхности. Изучены зависимости контраста интерференции света в пластинах от диаметра зондирующего лазерного пучка, угла падения света на поверхность, шероховатости поверхности и наличия на ней просветляющих или отражающих пленок. Обнаружено влияние поперечного градиента температуры в пластине на контраст. Измерения проведены для монокристаллов кремния и оптического стекла К-8.