Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияСаратовский филиал Института радиотехники и электроники РАН, 410019 Саратов, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Синтез пленок оксида цинка с&nbsp;прямой и&nbsp;наклонной текстурой в&nbsp;неоднородной газоразрядной плазме

Веселов А.Г., Джумалиев А.С.

Веселов А.Г., Джумалиев А.С. Синтез пленок оксида цинка с прямой и наклонной текстурой в неоднородной газоразрядной плазме // ЖТФ, 2000, том 70, выпуск 4, Стр. 118

Аннотация Представлены результаты роста пленок оксида цинка с нормальной и наклонной текстурой на протяженных аморфных подложках. Показана возможность формирования требуемой текстуры путем управления потоками заряженных частиц при сохранении положения подложки в плоскости параллельной мишени в планарной магнетронной распылительной системе на постоянном токе в смеси аргона и кислорода. Исследование текстуры пленок проводилось методом рентгеновской дифракции и методом возбуждения продольных и сдвиговых объемных акустических волн.