Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияМосковский государственный университет им. М.В.&nbsp;Ломоносова, 119899 Москва, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Рентгенодифрактометрическая диагностика лазерной диффузии алюминия в&nbsp;кремний

Бушуев В.А., Петраков А.П.

Бушуев В.А., Петраков А.П. Рентгенодифрактометрическая диагностика лазерной диффузии алюминия в кремний // ЖТФ, 2000, том 70, выпуск 5, Стр. 92

Аннотация Методами рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения исследованы изменения структуры монокристаллов кремния, которые возникают в процессе неравновесной твердофазной диффузии атомов алюминия при нагреве приповерхностного слоя излучением CO2 лазера с длительностями импульсов 1, 2 и 3 s. Определены профили деформации кристаллической решетки, диффузионные длины, концентрации примеси алюминия, средние размеры и концентрации дислокационных петель.