Профиль » Публикация

Аннотация Конденсация газовых смесей моносилан--аргон и моносилан--гелий исследовалась в свободных струях с помощью диагностики, основанной на рэлеевском рассеянии лазерного излучения. Процесс конденсации в смеси SiH4--Ar начинается при меньшем давлении торможения, на меньшем расстоянии от сопла и протекает более интенсивно, чем в смеси моносилан--гелий и в чистом аргоне. Результаты рэлеевских измерений в струе кондесирующейся смеси моносилан--аргон обобщаются по параметру P0d0.8. Анализ полученных результатов и литературных данных позволяет предположить, что в смеси моносилан--аргон идет процесс совместной конденсации моносилан--аргон с образованием смешанных кластеров.