Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияИнститут электроники НАН Белоруссии, 220841 Минск, Белоруссия e-mail: inel@inel.bas-net.by ЖурналЖурнал Технической Физики

Влияние длины волны ультрафиолетового облучения на&nbsp;свойства контакта цирконий--кремний

Нуприенок И.С., Шибко А.Н.

Нуприенок И.С., Шибко А.Н. Влияние длины волны ультрафиолетового облучения на свойства контакта цирконий--кремний // ЖТФ, 2001, том 71, выпуск 9, Стр. 45

Аннотация Исследовано влияние ультрафиолетового облучения при термической обработке на контакт цирконий--кремний. Определено, что изменение фазового состава контакта обусловливает изменение электрофизических параметров. Применение комбинированной обработки позволяет формировать выпрямляющий контакт цирконий--кремний с определенными, заранее заданными электрофизическими параметрами.