Профиль » Публикация
Опубликовано
2001-00-00
ОрганизацияИнститут физики молекул кристаллов Уфимского научного центра РАН, 450075 Уфа, Россия Башкирский государственный университет, 450074 Уфа, Россия e-mail: imcp@anrb.ru
ЖурналЖурнал Технической Физики
Химическая чистота алмазоподобных пленок, полученных методом ионно-лучевого осаждения
Пшеничнюк С.А., Юмагузин Ю.М. Химическая чистота алмазоподобных пленок, полученных методом ионно-лучевого осаждения // ЖТФ, 2001, том 71, выпуск 10, Стр. 99
Аннотация
Методом вторично-ионной масс-спектрометрии исследован элементный состав образцов тонких алмазоподобных пленок, плученных в сверхвысоком вакууме путем ионно-лучевого осаждения на поверхностях кремниевых подложек. Качественный анализ результатов и их сравнение с данными, полученными для образцов графита и пироуглерода, показал высокую химическую чистоту полученных алмазоподобных покрытий.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален