Профиль » Публикация

Аннотация Представлены результаты исследования углеродных пленок, осаждавшихся с использованием газофазной химической реакции в плазме разряда постоянного тока. Пленки, полученные при различных параметрах процесса осаждения, отличались по структуре и фазовому составу в широких пределах: от поликристаллического алмаза до графитоподобного материала. Сравнительное исследование структуры и фазового состава пленок с помощью спектроскопии комбинационного рассеяния света, катодолюминесценции, электронной микроскопии и дифрактометрии, а также их автоэлектронных эмиссионных свойств показало, что пороговое значение напряженности электрического поля, при котором наблюдается электронная эмиссия, уменьшается с уменьшением размеров алмазных кристаллитов и ростом доли неалмазного углерода. Наиболее низкие пороговые значения поля (менее 1.5 V/mum) были получены для пленок, состоящих в основном из графитоподобного материала. На основе представленных экспериментальных фактов предлагается модель, объясняющая механизм автоэлектронной эмиссии в углеродных материалах.