Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияУжгородский национальный университет, 88000 Ужгород, Украина e-mail: ishev@univ.uzhgorod.ua ЖурналЖурнал Технической Физики

Оптические характеристики стационарной плазмы продольного разряда на&nbsp;смеси гелий/фреон-12

Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В.

Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Оптические характеристики стационарной плазмы продольного разряда на смеси гелий/фреон-12 // ЖТФ, 2002, том 72, выпуск 4, Стр. 32

Аннотация Исследовано излучение плазмы контрагированного продольного разряда постоянного тока на смеси He/CF2Cl2 в спектральной области 130-300 nm. Показано, что электроразрядная плазма является источником излучения в диапазоне 150-260 nm, сформированного на основе широких полос молекул Cl2 и однозарядных ионов хлора. Проведена оптимизация ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового (УФ--ВУФ) излучения плазмы в зависимости от давления и состава рабочей среды, тока разряда и времени работы на одной смеси в газостатическом режиме. Полученные результаты представляют интерес для разработки стационарного источника УФ--ВУФ излучения для применений в микроэлектронике, фотохимии и медицине.