Профиль » Публикация

Аннотация Измерены суммарные импульсы частиц, эмитированных мишенью при интенсивном распылении ионами тяжелых инертных газов с энергией E0~ 0.5 keV. Для жидкой и находящейся при предплавильной температуре мишени из Ga измеренные значения близки к ожидаемым импульсам распыленных металлических атомов и отраженных ионов, для мишеней из Cu и Zr они заметно больше. Выдвинуто предположение, что причина избыточного импульса --- распыление имплантируемых в мишень атомов газа-распылителя. Оценочная средняя энергия этих атомов < E>~ 20 eV. При облучении Ga имплантированные атомы преимущественно диффундируют к поверхности и десорбируются.