Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияОмский государственный университет, 644077 Омск, Россия e-mail: strunin@omsu.omskreg.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

Моделирование процесса разложения силана в&nbsp;высокочастотной плазме

Струнин В.И., Ляхов А.А., Худайбергенов Г.Ж., Шкуркин В.В.

Струнин В.И., Ляхов А.А., Худайбергенов Г.Ж., Шкуркин В.В. Моделирование процесса разложения силана в высокочастотной плазме // ЖТФ, 2002, том 72, выпуск 6, Стр. 109

Аннотация Построена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной аргоновой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов разложения SiH4 и концентрации продуктов синтеза (высших силанов), проанализирована роль метастабильных атомов аргона в образовании радикала SiH3 и высших силанов.