Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияСыктывкарский государственный университет, 167001 Сыктывкар, Россия e-mail: petrakov@ssu.komi.com ЖурналЖурнал Технической Физики

Метод рентгеновской рефлектометрии и&nbsp;его применение для&nbsp;исследования лазерного испарения окисной пленки с&nbsp;поверхности кремния

Петраков А.П.

Петраков А.П. Метод рентгеновской рефлектометрии и его применение для исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния // ЖТФ, 2003, том 73, выпуск 4, Стр. 129

Аннотация Приведен анализ литературы по рентгеновской рефлектометрии. Возможности метода рентгеновской рефлектометрии продемонстрированы в процессе исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния.