Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияИнститут радиотехники и электроники РАН, 141120 Фрязино, Московская область, Россия e-mail: gfk217@ire216.msk.su ЖурналЖурнал Технической Физики

Рентгенотопографическая идентификация и измерение пластической деформации и упругих напряжений в отдельных кристаллитах поликристаллических слоев алмаза

Кузнецов Г.Ф.

Кузнецов Г.Ф. Рентгенотопографическая идентификация и измерение пластической деформации и упругих напряжений в отдельных кристаллитах поликристаллических слоев алмаза // ЖТФ, 2003, том 73, выпуск 12, Стр. 45

Аннотация На основе известного явления астеризма разработан рентгенотопографический метод идентификации и измерения величин пластической деформации и остаточных упругих напряжений в отдельных кристаллитах поликристаллических слоев алмазов с размерами кристаллитов, превышающими 3 mum. Величина астеризма используется как количественная мера пластической деформации конкретных кристаллитов. Получено распределение числа кристаллитов по величине астеризма для поликристаллических слоев алмаза с толщинами 40-670 mum, осажденных в СВЧ (сверх высокочастотной) плазме. Впервые обнаружена сдвиговая пластическая деформация в отдельных кристаллитах, при которой возникает разориентация отдельных областей кристаллита в пределах от 0.4 угловых минут до 1.5o. Рассчитаны величины остаточных упругих напряжений в отдельных пластически деформированных кристаллитах, которые оказались в пределах 2.7 kPa--0.84 GPa.