Профиль » Публикация

Аннотация Рассматривается вторичная электронная эмиссия (ВЭЭ) из алмазных пленок, выполненных в виде мембран толщиной 2.5-5 mum. ВЭЭ исследуется в двух режимах: в режиме \glqq на отражение\grqq, когда вторичные электроны выходят с поверхности мембраны, на которую падают первичные электроны, и в режиме \glqq на прострел\grqq, когда вторичные электроны выходят с поверхности, противоположной поверхности, на которую падают первичные электроны. Оценка коэффициента ВЭЭ производится на основе анализа поведения в твердом веществе электронов с энергией 0.1--30 keV. Показано, что в случае \glqq на отражение\grqq коэффициент ВЭЭ может быть более 100 при энергиях порядка 3 keV, а в случае \glqq на прострел\grqq он не превышает 5 даже при энергиях 30 keV. Для улучшения эмиссионных свойств мембран при работе \glqq на прострел\grqq предложен ряд конструкций, в частности пористые мембраны, которые позволяют получить характеристики, близкие к характеристикам при работе \glqq на отражение\grqq. Приведены экспериментальные результаты, согласующиеся с расчетными данными, и описана технология получения алмазных мембран, в том числе и пористых.