Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2004-00-00 ОрганизацияРоссийский научный центр &lt;&lt; Курчатовский институт&gt;&gt;, 123182 Москва, Россия e-mail: alex-rogov@yandex.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

Влияние резонансной перезарядки ионов аргона на&nbsp;эффективную скорость распыления в&nbsp;магнетронном разряде

Бурмакинский И.Ю., Рогов А.В.

Бурмакинский И.Ю., Рогов А.В. Влияние резонансной перезарядки ионов аргона на эффективную скорость распыления в магнетронном разряде // ЖТФ, 2004, том 74, выпуск 1, Стр. 120

Аннотация Проведен сравнительный анализ скоростей распыления в магнетронной системе ионного распыления для различных материалов мишени. Приведены эффективные коэффициенты распыления, полученные при использовании аргона в качестве рабочего газа. Показано, что отличие коэффициента распыления от значений, полученных методом моноэнергетичных ионных пучков, обусловлено влиянием резонансной перезарядки иона аргона на собственном газе.