Профиль » Публикация
Опубликовано
2005-00-00
ОрганизацияСаратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, 410012 Саратов, Россия e-mail: GorinDA@info.sgu.ru
ЖурналЖурнал Технической Физики
Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев
Биленко Д.И., Полянская В.П., Гецьман М.А., Горин Д.А., Невешкин А.А., Ященок А.М. Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев // ЖТФ, 2005, том 75, выпуск 6, Стр. 69
Аннотация
Представлены результаты численного моделирования структуры наноразмерная пленка-переходный слой-поглощающая подложка. Установлено влияние переходного слоя на точность определения показателя преломления и толщины наноразмерного покрытия. Показано, что введение эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки позволяет повысить точность последующих эллипсометрических измерений параметров наноразмерных слоев. Натурными и численными экспериментами показана целесообразность замены структуры подложка-переходный слой подложкой с эффективными оптическими параметрами при определении толщины и показателя преломления наноразмерной пленки на подложке с неизвестным переходным слоем, сравнимым по толщине с пленкой. Установлено, что изменение толщины переходного слоя незначительно влияет на точность определения толщины и показателя преломления нанесенной пленки при использовании эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален