Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 ОрганизацияИнститут прикладной оптики НАН Белоруссии, 212793 Могилев, Белоруссия e-mail: avkh@mogilev.by ЖурналЖурнал Технической Физики

Волноводный метод измерения параметров тонких пленок

Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А., Глазунов Е.В., Шульга А.В.

Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А., Глазунов Е.В., Шульга А.В. Волноводный метод измерения параметров тонких пленок // ЖТФ, 2005, том 75, выпуск 6, Стр. 98

Аннотация Предложен волноводный метод определения коэффициента поглощения, показателя преломления и толщины тонких пленок, основанный на регистрации угловой зависимости энергетического коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного устройства связи. Рассмотрено применение метода для исследования характеристик тонкопленочных волноводов, диэлектрических покрытий и металлических пленок.