Профиль » Публикация

Аннотация В диапазоне масс 1--140 u. получены и идентифицированы масс-спектры остаточного газа в металлической вакуумной камере объемом 3 l при помощи магнитного резонансного масс-спектрометра высокого разрешения и высокой чувствительности типа МИ 9303. Исследования выполнены при четырех различных способах откачки в диапазоне давлений P=10-8-10-10 Torr с разрешением практически всех массовых пиков, образующих мультиплеты. Получено, что мультиплетный состав масс-спектров остаточного газа с массовыми числами M=<q 80, как правило, имеет сложную многокомпонентную структуру, и при всех способах откачки общее давление в камере, в основном, определяется водородом. Вслед за водородом наиболее интенсивными пиками масс-спектра являются пики CH4+, H2O+, CO+, CO+2. Другие линии масс-спектров остаточного газа образованы главным образом линиями различныx соединений C, H, N, O. Кроме того, фоновый масс-спектр содержит соединения на основе Cl и F и некоторые изотопы инертных газов. Мультиплеты масс с M>80 часто вырождаются до одной углеводородной линии. PACS: 33.15.Ta