Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияСаратовский государственный университет им.&nbsp;Н.Г.&nbsp;Чернышевского, 410012 Саратов, Россия e-mail: usanovda@info.sgu.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

Измерения толщины нанометровых слоев металла и&nbsp;электропроводности полупроводника в&nbsp;структурах металл--полупроводник по&nbsp;спектрам отражения и&nbsp;прохождения электромагнитного излучения

Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Абрамов А.В., Боголюбов А.С.

Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Абрамов А.В., Боголюбов А.С. Измерения толщины нанометровых слоев металла и электропроводности полупроводника в структурах металл--полупроводник по спектрам отражения и прохождения электромагнитного излучения // ЖТФ, 2006, том 76, выпуск 5, Стр. 112

Аннотация Теоретически и экспериментально исследованы особенности взаимодействия электромагнитного излучения с нанометровыми структурами металл--полупроводник. Предложена и экспериментально реализована методика неразрушающего многопараметрового контроля электрофизических параметров нанометровых слоев металла и электропроводности полупроводника в структурах металл--полупроводник по спектрам отражения и прохождения электромагнитной волны. PACS: 81.07.-b