Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияСанкт-Петербургский государственный политехнический университет, 195251 Санкт-Петербург, Россия e-mail: gorbachev@csa.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

Роль олигомеров в&nbsp;процессе роста пленки аморфного кремния в&nbsp;PECVD-реакторе

Горбачев Ю.Е.

Горбачев Ю.Е. Роль олигомеров в процессе роста пленки аморфного кремния в PECVD-реакторе // ЖТФ, 2006, том 76, выпуск 6, Стр. 55

Аннотация Построена расширенная плазмохимическая модель процессов в PECVD-реакторе, являющаяся развитием предложенной в работах [1,2] и учитывающая образование олигомеров SinHm (до n=<q 5). Разработана соответствующая схема химических реакций, и проведено моделирование процесса роста пленки. Обнаружен эффект сильного влияния компонентов Si2H5 и Si3H7 на рост пленки. Интерес представляет получение более надежных экспериментальных данных, связанных с выявлением этих эффектов. PACS: 81.20.-n, 81.05.Gs