Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияМосковский физико-технический институт, 141700 Долгопрудный, Московская область, Россия e-mail: egor@lafeet.mipt.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

Расчет толщин и&nbsp;упругих свойств тонкопленочных покрытий на&nbsp;основании данных атомно-силовой акустической микроскопии

Батог Г.С., Батурин А.С., Бормашов В.С., Шешин Е.П.

Батог Г.С., Батурин А.С., Бормашов В.С., Шешин Е.П. Расчет толщин и упругих свойств тонкопленочных покрытий на основании данных атомно-силовой акустической микроскопии // ЖТФ, 2006, том 76, выпуск 8, Стр. 123

Аннотация Исследована возможность применения атомно-силовой акустической микроскопии (АСАМ) для измерения упругих свойств тонкопленочных покрытий и контроля их толщины в диапазоне от единиц до сотен нанометров. Практический интерес данная методика может иметь при исследовании алмазоподобных покрытий. Главной особенностью предлагаемого подхода является применение \glqq плоских\grqq зондов, обеспечивающих постоянство площади контакта зонда с поверхностью, а следовательно, и контактной жесткости. Применение подобных зондов обусловлено тем, что стандартные зонды с закругленным острием не позволяют количественно интерпретировать экспериментальные данные при исследовании тонкопленочных структур. На основе результатов численного моделирования были получены данные, позволяющие по измеренному с помощью методики АСАМ значению контактной жесткости kcont количественно определять такие параметры, как толщину или индентационный модуль покрытия. PACS: 81.05.-t