Профиль » Публикация

Аннотация На основе периодического дозированного осаждения заряда на поверхность диэлектрического слоя, синхронного измерения накопленного заряда и поверхностного потенциала, а также измерения поверхностного потенциала, как при произвольной разрядке, так и при разрядке под действием освещения слоя, показана возможность определения параметров и характерик исследуемого диэлектрического слоя. По накопленным во время измерения данным строится зависимость величины поверхностного потенциала слоя от величины плотности осаждаемого заряда, а также зависимости эффективной емкости, дифференциальной емкости и сопротивления утечки слоя от величины поверхностного потенциала. Показано, что по полученным характеристикам можно анализировать физические явления, происходящие в исследуемом диэлектрическом слое, определить временные параметры, т. е. время полуспада потенциала в темноте и время полуспада потенциала при освещении слоя, а также определить емкость, предельное значение поверхностного потенциала, рассчитать диэлектрическую проницаемость, сопротивление утечки и фоточувствительность исследуемого диэлектрического слоя. PACS: 77.20.-d