Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2007-00-00 ОрганизацияГосударственный оптический институт им. С.И.&nbsp;Вавилова, 199034 Санкт-Петербург, Россия e-mail: venediktov@pochta.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

О&nbsp;возможности применения киноформных элементов в&nbsp;зеркальных проекционных системах для&nbsp;ВУФ-литографии

Венедиктов В.Ю.

Венедиктов В.Ю. О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии // ЖТФ, 2007, том 77, выпуск 1, Стр. 130

Аннотация Проанализированы возможности технологии отражательных дифракционных (голографических) оптических элементов для ВУФ-диапазона и их применения в проекционной фотолитографии. PACS: 85.85.+j