Библиотека » Публикация (база данных scholar.ru)

Поделиться публикацией:
Опубликовать в блог:
Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут физики Академии наук Украины, 252650 Киев, Украина ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"


Акустическая эмиссия в процессе лазерного отжига монокристаллов кремния
Блонский И.В., Тхорик В.А., Цицилиано А.Д.
Блонский И.В., Тхорик В.А., Цицилиано А.Д. Акустическая эмиссия в процессе лазерного отжига монокристаллов кремния // ФТТ, 1997, том 39, выпуск 3, Стр. 505
Аннотация Исследован акустический отклик монокристаллов кремния на воздействие импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности с длиной волны возбуждения 1.06 mum. Впервые обнаружено, что при сверхпороговой плотности потока энергии лазерного излучения, отвечающей режиму плавления поверхности, наблюдается дополнительное акустическое излучение, задержанное во времени по отношению к фотоакустическому отклику. Время задержки линейно зависит от мощности лазерного излучения и изменяется в интервале от единиц до десятков миллисекунд. На основании сопоставления параметров акустического излучения с динамикой развития термоупругих напряжений в зоне лазерного воздействия, а также с кинетикой плавления облучаемой поверхности образца показано, что источником дополнительного акустического излучения является процесс образования трещин под действием поля термоупругих напряжений.
Ключевые слова публикации:
       

Комментарии

Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален