Профиль » Публикация
Опубликовано
1997-00-00
ОрганизацияИнститут физики Академии наук Украины, 252650 Киев, Украина
ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"
Акустическая эмиссия в процессе лазерного отжига монокристаллов кремния
Блонский И.В., Тхорик В.А., Цицилиано А.Д. Акустическая эмиссия в процессе лазерного отжига монокристаллов кремния // ФТТ, 1997, том 39, выпуск 3, Стр. 505
Аннотация
Исследован акустический отклик монокристаллов кремния на воздействие импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности с длиной волны возбуждения 1.06 mum. Впервые обнаружено, что при сверхпороговой плотности потока энергии лазерного излучения, отвечающей режиму плавления поверхности, наблюдается дополнительное акустическое излучение, задержанное во времени по отношению к фотоакустическому отклику. Время задержки линейно зависит от мощности лазерного излучения и изменяется в интервале от единиц до десятков миллисекунд. На основании сопоставления параметров акустического излучения с динамикой развития термоупругих напряжений в зоне лазерного воздействия, а также с кинетикой плавления облучаемой поверхности образца показано, что источником дополнительного акустического излучения является процесс образования трещин под действием поля термоупругих напряжений.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален