Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут новых химических проблем Российской академии наук, 142432 Черноголовка, Московская обл., Россия *&nbsp;Институт физики твердого тела Российской академии наук, 142432 Черноголовка, Московская обл., Россия **&nbsp;Российский научный центр & ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Структура и физико-механические свойства наноструктурных боридонитридных пленок

Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Кобелев Н.П., Сойфер Я.М., Штанский Д.В.

Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Кобелев Н.П., Сойфер Я.М., Штанский Д.В. Структура и физико-механические свойства наноструктурных боридонитридных пленок // ФТТ, 1997, том 39, выпуск 10, Стр. 1859

Аннотация Приведены результаты электронно-микроскопического и рентгеноструктурного изучения наноструктурных пленок на основе борида титана, полученных магнетронным распылением при различных режимах. Состав и формулы синтезированных фаз оценивались с помощью Оже-анализа. Исследованы твердость, упругие и электрические свойства пленок. Обсуждается роль размерных эффектов и отклонения от стехиометрии (структурных вакансий).