Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияФизический институт им.&nbsp;П.Н.&nbsp;Лебедева Российской академии наук, 117924 Москва, Россия ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Упорядочение структуры гидрогенизированных пленок кремния под&nbsp;влиянием непрерывного лазерного облучения &nbsp;&nbsp;&nbsp;

Авакянц Л.П., Горелик В.С., Курова И.А., Червяков А.В.

Авакянц Л.П., Горелик В.С., Курова И.А., Червяков А.В. Упорядочение структуры гидрогенизированных пленок кремния под влиянием непрерывного лазерного облучения     // ФТТ, 1997, том 39, выпуск 12, Стр. 2152

Аннотация Исследован процесс кристаллизации аморфных гидрогенизированных пленок кремния при воздействии на них непрерывного излучения аргонового лазера. Анализ возникающей структуры проводился методом комбинационного рассеяния света. Плотность мощности излучения в процессе отжига составляла 1.5--4.5 kW/cm2 при экспозиции 1/125 s. Спектры комбинационного рассеяния регистрировались при плотности мощности, меньшей 0.1 kW/cm2. Показано, что порог плотности мощности возникновения кристаллитов составляет 3.0 kW/cm2. В рамках модели локализации фононов показано, что при плотности мощности 3 kW/cm2 размеры формирующихся в процессе лазерного отжига кристаллитов составляют 40 Angstrem.