Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1999-00-00 ОрганизацияИнститут физики Дагестанского научного центра Российской академии наук, 367003 Махачкала, Россия ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Диффузионные свойства пластически деформированных кристаллов кремния

Алиев М.А., Алиева Х.О., Селезнев В.В.

Алиев М.А., Алиева Х.О., Селезнев В.В. Диффузионные свойства пластически деформированных кристаллов кремния // ФТТ, 1999, том 41, выпуск 6, Стр. 1028

Аннотация Экспериментально исследовано влияние дислокаций, вводимых в процессе электропластической деформации, на явление электропереноса примесных атомов индия в монокристаллах P-кремния. Установлено, что одновременная с деформацией реализация электродиффузии индия приводит к эффекту преимущественного увлечения ионов примеси в сторону анода.