Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1999-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.&nbsp;Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Кинетика отжига осажденного слоя при наличии термодесорбции и&nbsp;диффузии частиц в подложку

Потехина Н.Д.

Потехина Н.Д. Кинетика отжига осажденного слоя при наличии термодесорбции и диффузии частиц в подложку // ФТТ, 1999, том 41, выпуск 9, Стр. 1712

Аннотация На основе теории теплопроводности получены зависимости Оже-сигнала и потока десорбции атомов адсорбата от времени отжига и от констант скоростей приповерхностных реакций и диффузии в объем. Показано, что лишь при поверхностно-контролируемом уходе адатомов в объем спад Оже-сигнала со временем линеен с sqrt(sqrt), что и наблюдалось при отжиге Si/Ta. Показано, что начальное распределение адатомов в объеме, полученное во время нагрева адслоев разной толщины до температуры отжига, почти не сказывается на зависимости измеряемых сигналов от времени, но проявляется в их зависимости от температуры отжига. Найдена связь между временем растворения адпленки при нагреве и ее толщиной.