Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияИнститут спектроскопии Российской академии наук, 142092 Троицк, Московская обл., Россия E-mail: lozovik@isan. troitsk.ru ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Теория сканирующей емкостной микроскопии

Балагуров Д.Б., Ключник А.В., Лозовик Ю.Е.

Балагуров Д.Б., Ключник А.В., Лозовик Ю.Е. Теория сканирующей емкостной микроскопии // ФТТ, 2000, том 42, выпуск 2, Стр. 361

Аннотация Рассматривается теория сканирующей емкостной микроскопии (СЕМ), применяющейся для исследования двумерного распределения неоднородностей в пленках, расположенных над металлическими подложками, а также рельефа проводящих поверхностей. Предложена реалистичная модель СЕМ, которая допускает аналитическое решение. Построено явное решение обратной задачи восстановления профиля неоднородностей в СЕМ. Подробно проанализированы эффекты, которые могли бы наблюдаться в связи с возбуждением собственных колебаний в системе пленка--игла зондового микроскопа. Данная работа была выполнена при поддержке РФФИ и программ "Поверхностные атомные структуры" и "Физика твердотельных наноструктур".