Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияИнститут физики микроструктур Российской академии наук, 603600 Нижний Новгород, Россия ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Исследование изменений состава мишени высокотемпературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O при ионном распылении

Воробьев А.К., Гапонов С.В., Дроздов М.Н., Клюенков Е.Б., Мастеров Д.В.

Воробьев А.К., Гапонов С.В., Дроздов М.Н., Клюенков Е.Б., Мастеров Д.В. Исследование изменений состава мишени высокотемпературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O при ионном распылении // ФТТ, 2000, том 42, выпуск 4, Стр. 589

Аннотация Методом электронной оже-спектроскопии исследуется элементный профиль мишеней высокотемпературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O, подвергшихся ионно-плазменному распылению в магнетронной напылительной системе и ионно-лучевому распылению в камере оже-спектрометра. Установлено, что во всех случаях имеет место преимущественное распыление меди с образованием поверхностного измененного слоя и области обеднения медью. Предполагается, что формирование этой области происходит в результате интенсивной диффузии меди из объема к поверхностному измененному слою вследствие градиента концентрации. Работа выполнена в Институте физики микроструктур РАН в рамках программ ГКНТ "Актуальные направления в физике конденсированных сред" (направление "Сверхпроводимость", проект N 98064), "Поверхностные атомные структуры" и при поддержке РФФИ (грант N 99-02-18037).