Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияФедеральное государственное унитарное предприятие "Гиредмет", 109017 Москва, Россия *Институт химических проблем микроэлектроники, 109017 Москва, Россия E-mail: icpm@mail.girmet.ru ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Динамические свойства дислокаций в&nbsp;термообработанных при&nbsp;низких температурах пластинах кремния

Меженный М.В., Мильвидский М.Г., Павлов В.Ф., Резник В.Я.

Меженный М.В., Мильвидский М.Г., Павлов В.Ф., Резник В.Я. Динамические свойства дислокаций в термообработанных при низких температурах пластинах кремния // ФТТ, 2001, том 43, выпуск 1, Стр. 47

Аннотация Изучены особенности генерации и движения дислокаций в бездислокационных пластинах кремния (монокристаллы выращены методом Чохральского), подвергнутых термообработкам при 450 и 650oC. Установлено, что низкотемпературные термообработки пластин с содержанием кислорода (7-8)· 1017 cm-3 оказывают существенное влияние на динамические характеристики вводимых в них при четырехточечном изгибе дислокаций, вызывая увеличение стартовых напряжений начала их движения. Обнаружена характерная пространственная неоднородность в генерации и распространении дислокаций от отпечатков индентора при игзибе термообработанных пластин. Обсуждаются причины выявленных закономерностей.